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气浮式大行程影像测量仪VMS型
气浮式大行程影像测量仪仪器介绍：采用龙门式结构(桥架式)，结构稳定不变形，主要运用在PCB线路板、覆铜板、平板玻璃、液晶模组、刀模、绝缘材料等。
气浮式大行程影像测量仪仪器特点：该系列气浮式大行程影像测量仪采用龙门式结构(桥架式)运行性能稳定，且机构稳定不变形。X、Y、Z三轴均采用伺服电机、全采用双重闭环运动控制、可电机在中、高速动动时的稳定性，和准确的定位功能，影像Z轴可自动对焦、配合美国Navitar自动变焦镜头，可实现自动变焦而不需倍率校正。
气浮式大行程影像测量仪型号及规格参数
影像测量仪系列型号
VMS5030(气浮型) VMS6040(气浮型)
工作台 金属台面尺寸(mm) 760×640 730×530
玻璃台面尺寸(mm) 550×350 650×450
运动行程(mm) 500×300 600×400
Z轴升降行程 200mm
工作距离 92mm
X、Y、Z数显解析度 1μm
X、Y坐标示值误差 ≤(3 L/200)μm
影像系统 摄影机： 日本原装彩色1/2″CCD摄像机
变焦物镜倍率： （美国：NAVITAR）0.7~4.5X 或自动变焦镜头
视频总倍率： 30X~190X
物方视场： 10.6~1.6mm 表面光源与透射光源均用LED，48组可编程。
测量系统 Mclns全自动测量软件
宏康气浮式大行程影像测量仪
